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表 1: 試料作成時のスパッタリング条件試料番号圧力 [Pa] 温度 [K] 表面形態 1  10  300 黒色。ガサガサ。 2  10  400 金属光沢。滑らか。 3  20  300 4  20  400 {金属光沢。温度上昇のため \atop か、粒界が見える。}

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