試料番号スパッタ条件表面形態
圧力 [Pa] 温度 [K]
1  10  300 黒色。ガサガサ。
2  10  400 金属光沢。滑らか。
3  20  300
4  20  400 {金属光沢。温度上昇のため \atop か、粒界が見える。}